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- 2026-05-02 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119725327A
(43)申请公布日2025.03.28
(21)申请号202510232071.2
(22)申请日2025.02.28
(71)申请人荣芯半导体（宁波）有限公司
地址315809浙江省宁波市北仑区柴桥街
道金水桥路28号4幢1号1层-1
(72)发明人孙妍
(74)专利代理机构北京市磐华律师事务所
11336
专利代理师高伟
(51)Int.Cl.
H01L23/544(2006.01)
G03F7/20(2006.01)
G03F9/00(2006.01)
G03F1/42(2012.01)
H01L21/02
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