CN119487616A 基板处理方法和基板处理装置 （东京毅力科创株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119487616A

(43)申请公布日2025.02.18

(21)申请号202380050532.3

(22)申请日2023.09.13

(30)优先权数据

2022-1505732022.09.21JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2024.12.27

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0334332023.09.13

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/062994JA2024.03.28

(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本

(72)发明人新