CN119480740A 晶圆盒搬运机器人、晶圆盒搬运方法 （深圳市辰中科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119480740A

(43)申请公布日2025.02.18

(21)申请号202510059126.4

(22)申请日2025.01.15

(71)申请人深圳市辰中科技有限公司

地址518000广东省深圳市福田区沙头街

道天安社区深南大道6023号耀华创建

大厦901

申请人深圳市晶相技术有限公司

(72)发明人陈卫军欧阳增图

(74)专利代理机构上海汉之律师事务所31378

专利代理师胡雨

(51)Int.Cl.

H01L21/677(2006.01)

H01L21/68(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图6页

(54)发明名称

晶圆盒搬运机器人、晶圆盒搬运方法

(57)摘要

CN119480740A本发明提出一种晶圆盒搬运机器人，晶圆盒搬运机器人，包括：底座，其内部设置有抽拉板，抽拉板滑动连接于底座上；第一移动组件，滑动连接于抽拉板上；第二移动组件，枢转连接于第一移动组件上；机械手，枢转连接于第二移动组件上，机械手用于搬运晶圆盒；以及装载架，连接于底座上，装载架上设置有定位套框，定位套框用以放置晶圆盒；其中，当抽拉板位于底座内部时，第二移动组件的移动方向、机械手的延伸方向和抽拉板的延伸方向平行；当抽拉板抽拉于底座外部时，第二移动组件的移动方向