CN119487608A 使用频率相关传输线调制等离子体和离子能量的空间分布的装置和方法 （朗姆研究公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119487608A

(43)申请公布日2025.02.18

(21)申请号202380050871.1

(22)申请日2023.07.07

(30)优先权数据

63/368,1382022.07.11US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2024.12.30

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2023/0270942023.07.07

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/015258EN2024.01.18

(71)申请人朗姆研究公司

地址美国加利福尼亚州

(72)发明人