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CN119491204A 真空阀门、沉积系统及其清洁方法 （江苏微导纳米科技股份有限公司）.docxVIP

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  • 2026-05-03 发布于山西
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CN119491204A 真空阀门、沉积系统及其清洁方法 （江苏微导纳米科技股份有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119491204A

    (43)申请公布日2025.02.21

    (21)申请号202411910819.1

    (22)申请日2024.12.23

    (71)申请人江苏微导纳米科技股份有限公司

    地址214028江苏省无锡市新吴区长江南

    路27号

    (72)发明人杨康

    (74)专利代理机构深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙)44280

    专利代理师石惠

    (51)Int.Cl.

    C23C16/44(2006.01)

    C23C16/505(2006.01)

    C23C14/56(2006.01)

    权

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