CN110908243A 抗蚀剂组合物和图案化方法 （信越化学工业株式会社）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN110908243A

(43)申请公布日2020.03.24

(21)申请号201910880802.9

(22)申请日2019.09.18

(30)优先权数据

2018-1735192018.09.18JP

(71)申请人信越化学工业株式会社地址日本东京

(72)发明人畠山润大桥正树藤原敬之

(74)专利代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038

代理人杜丽利

(51)Int.Cl.

G03F7/004(2006.01)

G03F7/039(2006.01)

G03F7/038(2006.01)

G03F7/20(2006.01)

权利要求书2页说明书58页

(54)发明名称

抗蚀剂组合物和图案化方法

(57)摘要

CN110908243A本发明为抗蚀剂组合物和图案化方法。包含基础聚合物和含有具有碘化的苯环的锍盐的产

CN110908243A

CN110908243A权利要求书1/2页

2

1.抗蚀剂组合物，其包含含有具有式(1)的锍盐的产酸剂：

其中，R1和R2各自独立地为单键或可以含有醚键、酯键或羟基的C1-C20二价脂族烃