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飞秒激光直写矩形凹陷包层光波导：原理、制备与应用的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代科技的飞速发展，光通信、光学传感、量子信息处理等领域对光波导器件的性能和功能提出了越来越高的要求。光波导作为引导光信号传输的关键元件，其性能直接影响到整个光学系统的效率和可靠性。飞秒激光直写技术作为一种先进的微纳加工技术，在光波导制备领域展现出了独特的优势，为实现高性能光波导器件提供了新的途径。

飞秒激光直写技术是利用飞秒激光的超短脉冲和超高功率特性，在材料内部实现高精度的微纳加工。与传统的光刻、电子束刻蚀等加工技术相比，飞秒激光直写技术具有无需掩模、可实现三维加工、加工精度高、对材料损伤小等