表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量.pdfVIP

表面化学分析深度剖析溅射深度测量

1范围

本文件提供了在溅射深度剖析中测量溅射深度的指南。

本文件描述的溅射深度测量方法适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术，通常溅射

深度可达几微米。这种方法通常确定的深度在1nm到500μm之间。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

ISO18115-1表面化学分析词汇第1部分：通用术语及谱学术语（Surfacechemicalanalysis—

Vocabulary—Part1:GeneraltermsandtermsusedinSpectroscopy）

ISO18115-2表面化学分析词汇第2部分：扫描探针显微术术语（Surfacechemical

analysis—Vocabulary—Part2:Termsusedinscanning-probemicroscopy）

ISO22493微束分析扫描电子显微术术语（Microbe