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信号循环技术赋能光学精密测量：原理、应用与创新

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科学与工业技术快速发展的进程中，光学精密测量作为获取高精度物理量信息的关键技术手段，正日益凸显其重要性，广泛应用于众多前沿领域。在半导体制造领域，随着芯片集成度不断提高，特征尺寸持续缩小，对光刻设备中光学精密测量的精度要求已达到纳米量级，以确保芯片制造的准确性和一致性，从而提升芯片性能和生产效率。在航空航天领域，飞行器的设计与制造对零部件的尺寸精度和形状精度要求极高，光学精密测量技术可用于飞行器零部件的加工检测、装配过程中的尺寸监测以及飞行过程中的结构健康监测，保障飞行器的安全性和可靠性。在生物医学领域，