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CN119493047A 承载舟的检测电路、故障检测方法和半导体工艺设备 （北京北方华创微电子装备有限公司）.docxVIP

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  • 2026-05-08 发布于山西
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CN119493047A 承载舟的检测电路、故障检测方法和半导体工艺设备 （北京北方华创微电子装备有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119493047A

    (43)申请公布日2025.02.21

    (21)申请号202311034206.1

    (22)申请日2023.08.16

    (71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司

    地址100176北京市大兴区北京经济技术

    开发区文昌大道8号

    (72)发明人石星星杨琛申震郑建宇

    李补忠耿丹张强

    (74)专利代理机构深圳市嘉勤知识产权代理有

    限公司44651专利代理师汤金燕

    (51)Int.Cl.

    G01R31/52(2020.01)

    C23C16/52(

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