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CN120072632A 一种晶圆镀膜前处理装置及方法 .pdfVIP

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  • 2026-05-06 发布于重庆
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CN120072632A 一种晶圆镀膜前处理装置及方法 .pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN120072632A

    (43)申请公布日2025.05.30

    (21)申请号202510270356.5

    (22)申请日2025.03.07

    (71)申请人文天精策仪器科技（苏州）有限公司

    地址215000江苏省苏州市吴江区江陵街

    道云创路233号

    (72)发明人赵天彪杨沛禹蒋杰

    (74)专利代理机构苏州汇智联科知识产权代理

    有限公司32535

    专利代理师王美红

    (51)Int.Cl.

    H01L21/02(2006.01)

    B08B1/12(2024.01)

    B08B5/02(2006.01)

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