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高频用集成磁芯平面螺线管型微电感：制备工艺、性能优化与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今数字化时代，高频电子设备如智能手机、5G通信基站、卫星通信系统以及各类无线传感器等得到了迅猛发展，这些设备对电子元件的性能和尺寸提出了极为严苛的要求。微电感作为一种不可或缺的无源元件，广泛应用于射频电路、电源管理电路以及信号处理电路等关键领域，发挥着调谐、匹配、滤波和能量存储等重要作用，其性能的优劣直接关系到整个电路系统的工作效率、稳定性以及信号质量。

随着高频电子设备向小型化、高性能化方向的飞速迈进，传统的分立电感由于体积较大、集成度低等固有缺陷，已难以满足现代电路对小型化和高性能的迫切