非平整基底面上薄膜涂覆流体运动的数值模拟与特性解析.docx

非平整基底面上薄膜涂覆流体运动的数值模拟与特性解析

一、引言

1.1研究背景与意义

薄膜涂覆作为一种将液体膜层覆盖、沉积于固体表面的现代表面工程技术，在现代工业生产中占据着举足轻重的地位。从日常使用的电子产品，如手机屏幕、电脑显示屏，到航空航天领域的飞行器部件，再到汽车制造中的零部件防护，薄膜涂覆技术的身影无处不在。在电子领域，通过在半导体芯片表面涂覆光刻胶薄膜，利用光刻技术实现芯片的精细图案化，这是制造高性能芯片的关键环节，直接影响着芯片的性能和尺寸；在航空航天领域，为了提高飞行器部件的耐高温、耐腐蚀性能，会在部件表面涂覆特殊的热障涂层薄膜，保障飞行器在极端环境下的安全运行；在汽车制造中，