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微纳传感器设计与制备技术的系统性分析

目录

一、文档概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

二、微纳传感器设计原理与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

三、微纳传感器制备工艺与技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

3.1传统微纳加工技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

3.2光刻技术及其在微纳传感器中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

3.3薄膜沉积技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.4生长技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

3.5刻蚀技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

3.6组合加工技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

3.7本章小结．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

四、常用微纳传感器类型分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

4.