CN119511052A 对单晶粒的Pattern测试方法及装置、设备、介质 (深圳市晶存科技股份有限公司).docxVIP

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  • 2026-05-08 发布于山西
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CN119511052A 对单晶粒的Pattern测试方法及装置、设备、介质 (深圳市晶存科技股份有限公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119511052A

(43)申请公布日2025.02.25

(21)申请号202510082278.6

(22)申请日2025.01.20

(71)申请人深圳市晶存科技股份有限公司

地址518048广东省深圳市福田区福保街

道福保社区市花路创凌通科技大厦三

(72)发明人刘孜

(74)专利代理机构广州嘉权专利商标事务所有限公司44205

专利代理师林灿伟

(51)Int.Cl.

G01R31/28(2006.01)

权利要求书2页说明书10页附图3页

(54)发明名称

对单晶粒的P

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