CN119506796A 一种喷涂平面靶材及其制备方法和压电传感器 （深圳众诚达应用材料股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119506796A

(43)申请公布日2025.02.25

(21)申请号202510090999.1

(22)申请日2025.01.21

(71)申请人深圳众诚达应用材料股份有限公司

地址518000广东省深圳市宝安区新安街

道海滨社区宝兴路6号海纳百川总部

大厦A座5层

(72)发明人周贤界关泽汉徐红星黄勇彪

(74)专利代理机构深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙)44325

专利代理师周艳秋

(51)Int.Cl.

C23C14/34(2006.01)

C23C4/134(2016.01)

C23C4/10(2016.01)

G01D5/12(2006.01)

权利要求书2页说明书10页附图4页

(54)发明名称

一种喷涂平面靶材及其制备方法和压电传

感器

(57)摘要

CN119506796A本申请涉及溅射用靶材制备技术领域，提供了一种喷涂平面靶材及其制备方法和压电传感器，所述喷涂平面靶材的制备方法包括以下步骤：提供平面靶材基体；将靶材粉料热喷涂到所述平面靶材基体的待喷涂面，形成靶材层，然后机加工得到喷涂平面靶材；其中，所述待喷涂面包括由中心处至外周处水平高度逐渐降低的坡面结构。本申请提供的制备方法采用热喷涂的方式，无需长时间高