扫描电子显微分析与电子探针.ppt

扫描电子显微分析与电子探针;序;SEM;SEM;SEM;SEM;特点;特点;§10.1扫描电子显微镜的结构和工作原理;1．电子光学系统;1．电子光学系统;(1)电子枪（electrongun）;(2)电磁透镜（electromagneticlens）;(2)电磁透镜;(3)扫描线圈

（scanningsectioncoil）;;扫描电子显微镜的样品室空间较大，一般可放置?20×10mm的块状样品。

为适应断口实物等大零件的需要，近年来还开发了可放置尺寸在?125mm以上的大样品台。观察时，样品台可根据需要沿X、Y及Z三个方向平移，在水平面内旋转或沿水平轴倾斜。

样品室内除放置样品外，还安置备种信号检测器。

信号的收集效率和相应检测器的安放位置有很大关系，如果安置不当，则有可能收不到信号或收到的信号很弱，从而影响分析精度，新型扫描电子显微镜的样品室内还配有多种附件，可使样品在样品台上能进行加热、冷却、拉伸等试验，以便研究材料的动态组织及性能。;(4)样品室;2．信号收集和显示系统;信号收集;2．信号收集和显示系统;3．真空系统和电源系统;二、工作原理;三、扫描电子显微镜的主要性能;1．放大倍数

（magnification）;2．分辨率

（resolution）;2．分辨率

（resolution）;2．分辨率

（resolution）;2．分辨率

（resol