CN120149231A 一种晶圆盒中转线及使用方法 （上海大族富创得科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120149231A

(43)申请公布日2025.06.13

(21)申请号202510280027.9

(22)申请日2025.03.11

(71)申请人上海大族富创得科技股份有限公司

地址201112上海市闵行区万芳路555号1

幢1层102室、2层202室

(72)发明人张峰倪萌吴沃祖陈垒

(74)专利代理机构上海港慧专利代理事务所

(普通合伙)31402

专利代理师郭嘉莹

(51)Int.Cl.

H01L21/677(2006.01)

H01L21/687(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

F16F15/04(2006.01)