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- 2026-05-09 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120149280A
(43)申请公布日2025.06.13
(21)申请号202510261760.6H01L21/60(2006.01)
H01L21/768(2006.01)
(22)申请日2025.03.06
(71)申请人湖北星辰技术有限公司
地址430223湖北省武汉市东湖新技术开
发区流芳园横路12号汇成工业科创园
2号楼11F(自贸区武汉片区)
(72)发明人熊能陈珍张培源曾红
刘登武
(74)专利代理机构北京派特恩知识产权代理有
限公司
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