半导体行业设备部工程师晶圆加工操作手册.docx

半导体行业设备部工程师晶圆加工操作手册

第1章通用安全规范与应急处理

1.1实验室安全守则与个人防护装备

进入洁净室前必须严格执行更衣换鞋流程，严禁穿着拖鞋、短裤或佩戴首饰进入ESD受控区，所有人员须佩戴符合ISO14644-1标准的二级以上A级洁净度防护服（PPE），内层为防静电T恤，外层为一次性隔离衣，脚部必须穿全覆盖式P2级一次性鞋套，鞋套内侧需贴附防静电标签。在操作过程中，必须佩戴符合NIOSH标准的防切割手套（如丁腈或氯丁橡胶材质，耐温0℃-120℃），眼部必须佩戴防冲击护目镜或防雾面罩，长发必须盘入帽内并扎成低马尾，严禁将头发外露，避免头发卷入精