CN120108996A 基于射频电源的快速灭弧方法、装置、设备及介质 .pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120108996A

(43)申请公布日2025.06.06

(21)申请号202510256066.5

(22)申请日2025.03.05

(71)申请人深圳市广能达半导体科技有限公司

地址518000广东省深圳市宝安区松岗街

道潭头社区富比伦科技厂区4号厂房

801

(72)发明人钟奋忠邓顶阳张振伟

(74)专利代理机构深圳市远航专利商标事务所

(普通合伙)44276

专利代理师张朝阳

(51)Int.Cl.

H01J37/32(2006.01)

H05H1/24(2006.01)

C23C16/505(2006.01)

C2