纳米制造 关键控制特性 第9-1部分：纳米级空间分辨率可溯源杂散磁场测量 磁力显微镜编制说明.pdfVIP

一、工作简况

1.1目的及意义

纳米磁体能够产生空间变化磁场，对其精确控制是实现纳米磁性结构和器件功

能的关键，在高性能存储器、运算器、磁性传感器等领域的应用日益凸显，如信息

存储中的磁性随机存储器，精密仪器中用于位置、角度或运动控制的磁性编码器，

磁阻和微机械陀螺仪等磁传感器，以及生物医药中的磁性纳米颗粒等。这些磁性器

件正在逐渐渗透到当今社会，对科技发展起着重要支撑作用。对其所产生的微纳空

间磁场进行精确测量，对推动新一轮信息产业革命具有重要意义。

MFM

磁力显微技术（）所使用的纳米级的针尖，能达到比其它的扫描磁场检测

技术更高的分辨率。磁力显微技术是基于原子力显微技术的一种测量模式，技术发

展已经较为成熟，设备可操作性强，已经被广泛用于磁性纳米结构、薄膜和器件的

微小空间磁特性的研究。它提供了一种能够以纳米级空间分辨率直接观测材料表面

磁畴结构及磁化分布的非破坏性手段。作为自旋电子学、磁性存储及二维磁性材料

研究中的核心表征工具，MFM可直观呈现磁畴形态、磁畴壁运动及磁场分布，帮助

科研人员深入理解微观磁性与材料结构、外场作用之间的内在关联。在半导体失效

分析、高密度磁记录介质研发及量子器件制备等领域，MFM能够精准定位纳米尺度

的磁缺陷与磁不均匀性，为磁性材料的设计优化与器件