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- 2026-05-13 发布于浙江
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《GBT+42897-2023微机电系统（MEMS）技术硅基
MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法》练习题试卷及
参考答案
一、单选题（每题2分，共15题，总计30分）
1.GB/T42897-2023的发布日期是哪一年？
A.2022年
B.2023年
C.2024年
D.2025年
2.该标准规定了硅基MEMS加工中什么结构的轴向抗拉强度原位试验方法？
A.微米厚度膜
B.纳米厚度膜
C.微米厚度梁
D.纳米厚度梁
3.该标准适用于什么工艺制造的纳
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