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CN119536375A 真空设备的旋转工件台的控制方法、装置及真空设备 （佛山市博顿光电科技有限公司）.docxVIP

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  • 2026-05-11 发布于山西
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CN119536375A 真空设备的旋转工件台的控制方法、装置及真空设备 （佛山市博顿光电科技有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119536375A

    (43)申请公布日2025.02.28

    (21)申请号202510106651.7

    (22)申请日2025.01.23

    (71)申请人佛山市博顿光电科技有限公司

    地址528225广东省佛山市南海区狮山镇

    华沙路12号之一南海平谦国际智慧产业园A5-1

    申请人中山市博顿光电科技有限公司

    (72)发明人刘伟基刘运鸿冀鸣

    (74)专利代理机构广州市律帆知识产权代理事务所(普通合伙)44614

    专利代理师余永文

    (51)Int.Cl.

    G05D3/12(2006.0

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