CN120081670A 一种碳化硅舟托及其制造方法 .pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120081670A

(43)申请公布日2025.06.03

(21)申请号202510261425.6B33Y10/00(2015.01)

(22)申请日2025.03.06

(71)申请人成都伏尔肯半导体材料有限公司

地址610000四川省成都市成都高新区高

朋大道16号1栋

(72)发明人薛振坤李玉银肖仕伟兰川渝

苏子龙杜先丁华

(74)专利代理机构成都华烨专利代理事务所

(普通合伙)51336

专利代理师严刘英

(51)Int.Cl.

C04B35/565(2006.01)

C04B35/62