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纳米级光刻技术工艺研究

目录

文档简述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

纳米级光刻技术原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

2.1光刻技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

2.2纳米级光刻技术分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

2.3关键技术原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

纳米级光刻工艺流程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

3.1掩模版制备工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

3.2光刻胶涂覆与预处理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

3.3曝光工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.4显影工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

3.5清洗与干燥．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．