CN119542241A 一种工件台组件、半导体生产设备及方法 （上海微电子装备（集团）股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119542241A

(43)申请公布日2025.02.28

(21)申请号202510104321.4

(22)申请日2025.01.22

(71)申请人上海微电子装备（集团）股份有限公司

地址201203上海市浦东新区张东路1525

号

(72)发明人陈文枢杨博光王鑫鑫蔡晨冒鹏飞

(74)专利代理机构上海思捷知识产权代理有限

公司31295

专利代理师许静

(51)Int.Cl.

H01L21/683(2006.01)

H01L21/687(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

权利要求书2页说明书11页附图8页

(54)发明名称

一种工件台组件、半导体生产设备及方法

(57)摘要

CN119542241A本发明提供了一种工件台组件、半导体生产设备及方法，工件台组件包括工件台本体和压边机构；工件台本体包括吸盘座和吸盘，吸盘设在吸盘座上；多个压边机构环绕布置在吸盘外周；压边机构包括水平驱动件、垂向驱动件、压板部，水平驱动件与吸盘座连接，垂向驱动件与水平驱动件连接，压板部与垂向驱动件连接；水平驱动件和垂向驱动件状态保持时，压板部与吸盘相对静止。工件台组件用于半导体生产设备，半导体生产设备工作时执行：使吸盘吸附基板；检测基板的状态