CN119542241A 一种工件台组件、半导体生产设备及方法 (上海微电子装备(集团)股份有限公司).docxVIP

  • 0
  • 0
  • 约2.16万字
  • 约 35页
  • 2026-05-12 发布于山西
  • 举报

CN119542241A 一种工件台组件、半导体生产设备及方法 (上海微电子装备(集团)股份有限公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119542241A

(43)申请公布日2025.02.28

(21)申请号202510104321.4

(22)申请日2025.01.22

(71)申请人上海微电子装备(集团)股份有限公司

地址201203上海市浦东新区张东路1525

(72)发明人陈文枢杨博光王鑫鑫蔡晨冒鹏飞

(74)专利代理机构上海思捷知识产权代理有限

公司31295

专利代理师许静

(51)Int.Cl.

H01L21/683(2006.01)

H01L21/687(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

权利要求书2页说明书11页附图8页

(54)发明名称

一种工件台组件、半导体生产设备及方法

(57)摘要

CN119542241A本发明提供了一种工件台组件、半导体生产设备及方法,工件台组件包括工件台本体和压边机构;工件台本体包括吸盘座和吸盘,吸盘设在吸盘座上;多个压边机构环绕布置在吸盘外周;压边机构包括水平驱动件、垂向驱动件、压板部,水平驱动件与吸盘座连接,垂向驱动件与水平驱动件连接,压板部与垂向驱动件连接;水平驱动件和垂向驱动件状态保持时,压板部与吸盘相对静止。工件台组件用于半导体生产设备,半导体生产设备工作时执行:使吸盘吸附基板;检测基板的状态

您可能关注的文档

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档