CN119546953A 用于在扫描声学显微术中自动缺陷分类的方法、软件程序产品及扫描声学显微镜 （Pva泰帕尔分析系统有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119546953A

(43)申请公布日2025.02.28

(21)申请号202380047562.9

(22)申请日2023.09.27

(30)优先权数据

102022125479.82022.10.04DE

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2024.12.16

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/EP2023/0766712023.09.27

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/074367DE2024.04.11

(71)申请人PVA泰帕尔分析系统有限公司地址德国韦斯特豪森

(72)发明人彼得·霍夫罗格

阿里亚·苏库马兰·奈尔

卢卡·鲍曼马里奥·沃尔夫

(74)专利代理机构北京高沃律师事务所11569专利代理师谷朋伦

(51)Int.Cl.

G01N29/06(2006.01)

G01N29/22(2006.01)

G01N29/27(2006.01)

G01N29/44(2006.01)

权利要求书2页说明书8页附图4页

(54)发明名称

用于在扫描声学显微术中自动缺陷分类的

方法、软件程序产品及扫描声学显微镜

(57)摘要

CN119546953A本发明涉及一种用于在扫描声学显微术中对样本进行自动缺