CN119547190A 真空排气系统及清洁方法 （埃地沃兹日本有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119547190A

(43)申请公布日2025.02.28

(21)申请号202380053772.9

(22)申请日2023.07.07

(30)优先权数据

2022-1141102022.07.15JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.14

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0252492023.07.07

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/014405JA2024.01.18

(71)申请人埃地沃兹日本有限公司地址日本千叶县

(72)发明