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基于单片机的静电探针自动测量系统陈柱，等

基于单片机的静电探针自动测量系统

TheSCC—basedAutomaticLangmuirProbeMeasuringSystem

往猩健纠汊整永舍

(中国科学技术大学自动化系，安徽合肥230027)

摘要：介绍了一种基于单片机的静电探针测量系统的实现方法，其原理是采用D／A转换器MAX53l及A／D转换器TLC1549实现

了静电探针，一特性曲线的自动测量。对系统的结构特点做了介绍，详细讨论了系统的硬件组成和软件设计，重点阐述了MAX53l

和TLC1549硬件设计以‘及与单片机的接口电路，给出了相关参考程序。结合抗干扰技术，提高了系统的可靠性，使得获取数据快速、

准确。该系统在实际使用中已取得了良好的效果。

关键词：单片机静电探针MAX531TLC1549