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- 2026-05-14 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120184092A
(43)申请公布日2025.06.20
(21)申请号202510307482.3
(22)申请日2025.03.14
(71)申请人湖北星辰技术有限公司
地址430223湖北省武汉市东湖新技术开
发区流芳园横路12号汇成工业科创园
2号楼11F（自贸区武汉片区）
(72)发明人胡陈诚曹瑞霞李琳瑜刘淑娟
陈帮
(74)专利代理机构北京派特恩知识产权代理有
限公司11270
专利代理师牟宗美蒋雅洁
(51)Int.Cl.
H01L21/78(2006.01)
H01L21/71(2006.01)
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