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铝掺杂氧化锌透明薄膜的制备工艺及其在氮化镓基发光二极管中的应用研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今光电子领域，透明导电薄膜和发光二极管技术取得了长足发展，成为研究热点。铝掺杂氧化锌（AZO）透明薄膜作为一种重要的透明导电材料，具有高透过率、低电阻率、化学稳定性好等优异特性，在太阳能电池、液晶显示器、触摸屏等众多领域展现出广泛应用前景。其原料丰富、成本低廉、无毒环保，相较于传统的铟锡氧化物（ITO）薄膜，更具发展潜力，有望在未来大规模应用中占据重要地位。

氮化镓基发光二极管（GaN-basedLED）凭借其宽禁带、高电子迁移率和良好的热稳定性等优势，在照明、显示、通信等领域发挥着