CN120057850A 片上微系统的真空封装设备和方法、真空封装的片上微系统 (北京大学).pdfVIP

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  • 2026-05-15 发布于重庆
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CN120057850A 片上微系统的真空封装设备和方法、真空封装的片上微系统 (北京大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120057850A

(43)申请公布日2025.05.30

(21)申请号202510376066.9

(22)申请日2025.03.27

(66)本国优先权数据

202510308956.62025.03.17CN

(71)申请人北京大学

地址100871北京市海淀区颐和园路5号

(72)发明人魏贤龙李志伟朱韬远

(74)专利代理机构北京金咨知识产权代理有限

公司11612

专利代理师宋教花

(51)Int.Cl.

B81C99/00(2010.01)

B81C1/00(2006.01)

B23K26/12(2014.01)

B23K2

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