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真空检漏新程序测试实验台检漏报告.pdf

实验台检漏报告

2015年3月18日

检测点检测方法漏率结论

抽口四通KF25法使用喷枪在接口e-10无

兰接口/4边缘喷射氦气约为8e-11

近端真空腔取压使用喷枪在取压同上无

口口上端喷射氦气

远端ZJ-27电离规使用喷枪在接口同上无

KF25法兰接口边缘喷射氦气

远端真空腔取压使用喷枪在取压同上无

口口上端喷射氦气

真空腔ISO法兰/2使用喷枪在接口同上无

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