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CN119569626A 鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 （信越化学工业株式会社）.docxVIP

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  • 2026-05-16 发布于山西
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CN119569626A 鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 （信越化学工业株式会社）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119569626A

    (43)申请公布日2025.03.07

    (21)申请号202411224683.9

    (22)申请日2024.09.03

    (30)优先权数据

    2023-1438782023.09.05JP

    (71)申请人信越化学工业株式会社地址日本

    (72)发明人福岛将大

    (74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277

    专利代理师刘新宇李茂家

    (51)Int.Cl.

    C07C381/12(2006.01)

    C07C309/12(2006.01)

    C07C

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