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CN119574983A 电容检测方法、系统、设备及存储介质 （无锡众盛禾半导体设备有限公司）.docxVIP

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  • 2026-05-16 发布于山西
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CN119574983A 电容检测方法、系统、设备及存储介质 （无锡众盛禾半导体设备有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119574983A

    (43)申请公布日2025.03.07

    (21)申请号202411809337.7

    (22)申请日2024.12.10

    (71)申请人无锡众盛禾半导体设备有限公司

    地址214000江苏省无锡市锡山区安镇街

    道先锋中路6号中国电子（无锡）数字

    芯城3A#-A-6

    (72)发明人王迪

    (74)专利代理机构北京维正专利代理有限公司11508

    专利代理师万培

    (51)Int.Cl.

    G01R27/26(2006.01)

    权利要求书2页说明书17页附图3页

    (54)发明名称

    电

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