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CN119581391A 晶圆的平坦度测量装置及方法 （浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司）.docxVIP

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  • 2026-05-19 发布于山西
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CN119581391A 晶圆的平坦度测量装置及方法 （浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119581391A

    (43)申请公布日2025.03.07

    (21)申请号202510131295.4

    (22)申请日2025.02.06

    (71)申请人浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司

    地址323000浙江省丽水市莲都区南明山

    街道绿谷大道309号国际车城15号楼11层-241

    (72)发明人徐新华

    (74)专利代理机构浙江维创盈嘉专利代理有限

    公司33477

    专利代理师胡根平

    (51)Int.Cl.

    H01L21/683(2006.01)

    H01L21/67(2006.01)

    H01

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