CN119815639A 晶圆检测uv光源的自适应光谱调整方法、装置及设备 (中山市光圣半导体科技有限公司).pdfVIP

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  • 2026-05-17 发布于重庆
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CN119815639A 晶圆检测uv光源的自适应光谱调整方法、装置及设备 (中山市光圣半导体科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119815639A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202510295283.5G06N20/00(2019.01)

G01N21/25(2006.01)

(22)申请日2025.03.13

G01J3/10(2006.01)

(71)申请人中山市光圣半导体科技有限公司G01J3/28(2006.01)

地址528400广东省中山市古镇镇同益工

业园平和路七坊工业园第2幢第2-3层

(72)发明人夏正浩林威张康罗明浩

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