CN119579678A 一种基于相干轴向衍射计算的深亚波长散射体粒径评估方法 （复旦大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119579678A

(43)申请公布日2025.03.07

(21)申请号202510122414.X

(22)申请日2025.01.26

(71)申请人复旦大学

地址200433上海市杨浦区邯郸路220号

(72)发明人孔令豹唐鑫岚

(74)专利代理机构北京东方盛凡知识产权代理

有限公司11562

专利代理师张明月

(51)Int.Cl.

G06T7/62(2017.01)

G01N15/0227(2024.01)

G06T7/70(2017.01)

G06V10/25(2022.01)

G06T7/00(2017.01)

权利要求书2页说明书12页附图4页

(54)发明名称

一种基于相干轴向衍射计算的深亚波长散

射体粒径评估方法

(57)摘要

CN119579678A本发明公开了一种基于相干轴向衍射计算的深亚波长散射体粒径评估方法，属于光学成像及微观结构分析技术领域，包括：获取图像，对图像进行预处理；对预处理后的图像进行量化，获取像面散射体每个轴向位置的散射光能量浓度，基于散射光能量浓度获取散射光能量离焦后的衰减情况，并对离焦衰减进行补偿；提取主峰峰值位置和主峰宽度，基于已知特征尺寸的深亚波长散射体样本，将提取到的主峰峰值位置和宽度数据分别与