摘要
在光通信与激光雷达等前沿科技领域,硅基APD探测器凭借其高灵敏度、快速
响应等良好性能,成为了关键的光电探测器件。准确测量硅基APD探测器的电学参
数,确保其在实际应用中的可靠性至关重要。目前,现有测量系统存在多设备协同
操作复杂、所测电流及输出光谱范围受限的问题。针对上述问题,本文设计出了一
种多参数一体化测量的硅基APD探测器电学参数测量系统。
系统具备一体化功能,不仅可以测量暗电流、反向击穿电压、倍增因子这三个
传统电学参数,而且系统具备可拓展性,能够测量宽
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