CN119804492A 暗场晶圆检测设备及其光学标定系统和光学标定方法 （上海中科飞测半导体科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119804492A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202510295267.6

(22)申请日2025.03.13

(71)申请人上海中科飞测半导体科技有限公司

地址200131上海市浦东新区中国（上海）

自由贸易试验区临港新片区玉宇路

1068号、飞渡路1568号、天高路1111号

6幢

(72)发明人陈鲁秦爽陶陶黄有为

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限

公司11227

专利代理师崔清杨

(51)Int.Cl.

G01N21/95(2006.01)

G01N21/01(2006.01)