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肇庆净化工程施工方案

一、工程概况

1.1工程名称

肇庆市电子半导体洁净车间建设项目

1.2工程地点

肇庆市高新技术产业开发区

1.3工程规模

总建筑面积5200㎡，其中洁净区面积3800㎡，辅助区面积1400㎡。洁净区按ISO14644-1标准划分为5级（局部）、6级、7级三个洁净度区域，分别对应美国联邦209E标准的百级、千级和万级。

1.4工程特点

本工程为电子半导体封装测试车间，具有洁净度要求高、系统复杂、施工精度要求严等特点。洁净区采用全封闭吊顶结构，设置独立的HVAC系统、纯水系统、工艺冷却水系统及废气处理系统，需满足防静电、防微振、电磁屏蔽等特殊要求。

1.5主要技术指标

洁净度等级

温度控制

湿度控制

静压差

照度

噪声

ISO5级

23±1℃

45±5%RH

≥15Pa

≥300Lx

≤60dB

ISO6级

23±2℃

45±10%RH

≥10Pa

≥300Lx

≤65dB

ISO7级

24±3℃

40-60%RH

≥5Pa

≥200Lx

≤70dB

二、施工总体部署

2.1施工组织架构

设立项目经理部，配置技术负责人、安全负责人、质量负责人及各专业施工班组，具体如下：

项目经理：全面负责项目协调管理

技术负责人：负责施工技术方案制定与交底

施工班组：分为洁净装饰组、空调风系统组、电气组、管道组、自控组5个专业班组，每组配备组长1名，施工人员8