CN119585463A 钼的选择性沉积的方法 （应用材料公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119585463A

(43)申请公布日2025.03.07

(21)申请号202380053258.5

(22)申请日2023.07.18

(30)优先权数据

63/392,7732022.07.27US18/222,5872023.07.17US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.10

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2023/0280252023.07.18

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/025765EN2024.02.01

(71)申请人应用材料公司

地址美国加利福尼亚州

(72)发明人兰德·哈达丁

库纳尔·巴哈特纳瓜

莫希斯·维尔格瑟

若泽·亚历山德罗·罗梅罗

阿尼鲁德·谢克瓦特

(74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理

有限公司11006

专利代理师徐金国吴启超

(51)Int.Cl.

C23C16/04(2006.01)

C23C16/40(2006.01)

C23C16/06(2006.01)

C23C16/455(2006.01)

C23C16/515(2006.01)

C23C14/04(2006.01)

C23C14/08(2006.01)

C23C