CN119585677A 照明单元、曝光装置、及曝光方法 （株式会社尼康）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119585677A

(43)申请公布日2025.03.07

(21)申请号202280098378.2

(22)申请日2022.08.18

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.20

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2022/0312052022.08.18

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/038535JA2024.02.22

(71)申请人株式会社尼康

地址日本东京品川区西大井一丁目5番20号(邮编140-8601)

(72)发明人岩永正也川户聪大川智之中臣聪

(74)专利代理机构北京同立钧成知识产权代理

有限公司11205

专利代理师马雯雯臧建明

(51)Int.Cl.

G03F7/20(2006.01)

权利要求书2页说明书10页附图6页

(54)发明名称

照明单元、曝光装置、及曝光方法

(57)摘要

CN119585677A照明单元具备：第一光源阵列(20A)，排列有多个第一光源元件，所述第一光源元件具有第一发光部，所述第一发光部出射具有第一波长特性的光；第一放大光学系统(30A)，形成所述第一光源元件各者的所述第一发光部的放大像；第一光学系统(81A)，由来自所述第一放大光学系统的光入射；第