CN119804332A 一种用于晶圆的检测系统、方法及相关产品 （苏州高视半导体技术有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119804332A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202510305319.3

(22)申请日2025.03.14

(71)申请人苏州高视半导体技术有限公司

地址215153江苏省苏州市高新区嘉陵江

路198号11幢9层903室、904室

(72)发明人请求不公布姓名请求不公布姓名

请求不公布姓名请求不公布姓名

(74)专利代理机构北京维昊知识产权代理事务

所(普通合伙)11804

专利代理师祁晓颖

(51)Int.Cl.

G01N21/01(2006.01)

G01N21/95(2006.01)

G01N21/956(2006.01)