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外场调控下铌酸锂磨削加工的作用机制与性能优化研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光电子技术领域，铌酸锂（LiNbO?）晶体凭借其卓越的性能，成为了一种不可或缺的关键材料。它集优良的电光、声光、压电、铁电等性能于一身，并且物理和化学性质稳定，耐腐蚀、耐高温，大块单晶体的生长技术也相对简单。这些优异的特性，使得铌酸锂晶体在光波导基片、光通讯调制器、声表面波滤波器、大功率超声换能器等众多关键领域得到了极为广泛的应用，被誉为光电子时代的“光学硅”。

随着光电子技术朝着高精密、高集成方向的迅猛发展，对铌酸锂晶体的加工精度和表面质量提出了更为严苛的要求。磨削加工作为铌酸锂晶体加工过程中的关键