CN120300015A 刻蚀终点监测方法 （重庆芯联微电子有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120300015A

(43)申请公布日2025.07.11

(21)申请号202510330709.6

(22)申请日2025.03.20

(71)申请人重庆芯联微电子有限公司

地址401332重庆市沙坪坝区高新区西永

街道西永大道28-2号SOHO楼601-A153

(72)发明人白凰鸣

(74)专利代理机构上海思捷知识产权代理有限

公司31295

专利代理师张子飞

(51)Int.Cl.

H01L21/66(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

H01L23/544(2006.01)

G01N21/64(2006.01)