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低温等离子体数值仿真：方法、应用与前沿探索

一、引言

1.1研究背景与意义

低温等离子体作为物质的第四态，由大量带电粒子、中性粒子和光子等组成，呈现出独特的物理和化学性质。在过去的几十年里，低温等离子体在材料表面改性、环境污染物治理、生物医学、半导体制造、新能源开发等诸多领域展现出了巨大的应用潜力。例如，在材料表面改性中，低温等离子体可以在不改变材料基体性质的前提下，通过与材料表面的相互作用，引入新的官能团或改变表面微观结构，从而显著提高材料的耐磨性、耐腐蚀性、生物相容性等性能。在环境领域，低温等离子体技术能够高效降解空气中的挥发性有机污染物（VOCs）和水中的有机污染物，为环境污染治理提