144单片硅压力传感器传感器技术与应用02课件讲解.pptxVIP

传感器技术与应用主讲老师：李妹14.4单片硅压力传感器

CONTANTS目录14.1概述0114.2单片智能温度传感器020214.3集成湿度传感器0314.4单片硅压力传感器0414.5集成磁敏传感器05

14.4单片硅压力传感器04

单片硅压力传感器属于压阻式传感器。扩散硅压阻式传感器与金属膜片式传感器测量原理相同，只是使用的材料和工艺不同，传感器利用集成电路工艺，构成应变电桥。有压力作用在膜片上，膜片上各点的应力分布与金属膜片式传感器相同,压阻式的灵敏度比金属应变片大50～100倍。普通压阻式压力传感器属于简单传感器，近年单片集成硅压力传感器进入市场，英文缩写为ISP(lntegratedSiliconPressure)单片集成硅压力传感器内部除传感器单元外，增加了信号调理、温度补偿、压力修正等电路。

输出端（Uo）公共地（GND）电源端（Us）NC引脚分布在器件的热塑壳内部有密封真空室，提供参考压力，当垂直方向受到压力P时，将检测压力P与真空压力PO相比较，输出电压正比于绝对压力。传感器输出电压与绝对压力在20～105kPa范围内成正比关系，超出压力范围后输出电压UO基本不随压力P变化。

内部电路和结构框图内部电路和结构框图:包括压敏电阻传感器单元;经过激光修正的薄膜温度补偿器及第一级放大器;第二