MEMS几何学及电学PCM参数提取的深度剖析与创新研究.docx

MEMS几何学及电学PCM参数提取的深度剖析与创新研究

一、绪论

1.1MEMS概述

MEMS，即微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystem），是一门将微电子技术与微机械加工技术相结合的前沿学科，其发展历程可追溯至20世纪中叶。1959年，美国物理学家理查德?费曼（RichardFeynman）在加州理工学院的一次演讲中提出了纳米技术的设想，为MEMS的发展奠定了思想基础。随后在20世纪60年代，随着硅的压阻效应被发现，学者们开始了对硅传感器的研究，这标志着MEMS技术的萌芽。到了70年代末至90年代，汽车行业对安全气